第二百九十九章 研发中的第四代光刻机(1 / 1)

科技霸权 秒速九光年 2089 字 2023-09-07

温成岭跟随罗佳离开办公室,来到光学部地下三层。

在那里,温成岭见到了一部机器,一部验证原型机,型号为超光刻初代。

“这是一台光刻机?”

温成岭停下脚步,疑惑的问,同时露出震惊的表情。

商用型号光刻机会进行外包装,而这台是初代机,所以内部元器件都是裸露在外的,透过落地玻璃,可以一览无余。

温成岭震撼于这台机器的设计,它个体很大,拥有多达六个机台,其中三个是测量机台,另外三个是标准曝光台。

更多机台可以提高光刻机的工作效率,每小时产出更多硅片。

然而增加机台的同时,也对机械结构以及机台的减震能力,提出了更高要求,难度系数呈几何倍数增加,所以绝大多数光刻机的机台都只有两个。

光刻机是半导体领域的皇冠,需要无尘环境,此刻罗佳他们站在实验室外面,隔着一层玻璃。

“要不要进去看一看?”罗佳问道。

“真的可以吗?”温成岭微微一怔,显得非常激动。

“当然了,我们去换防尘服。”罗佳笑着说。

温成岭在北美上学和工作的年代,中美关系还不像如今这样紧张,所以他是识货的,在斯坦福大学的实验室里,见过许多光学领域最前沿的科技。

时至今日,北美方面已经不允许华夏留学生,进入关键性科技领域学习了,以防止技术外泄,半导体,生命科学,航空航天,都属于被禁的领域。

但温成岭虽然见多识广,却从未见过这样夸张的光刻机设计,一台机器,同时在六个机台上展开全自动作业,效率应该会非常高吧。

温成岭一边换上白色防尘服,一边暗暗在心里想,世界科技史上,从来就不缺乏精彩绝伦的创意,然而把创意变为现实,却是非常困难的,星辰科技的初代机,应该还是用来做验证,完成度应该不会太高才对。

光刻机这个东西难到了什么程度呢?

全世界只有一家公司能做EUV,也就是荷兰ASML。

紫外光时代,全球有上百家企业出没在光刻机领域,那个时候真可谓百花齐放,精彩纷呈。

然而好景不长,随着深紫外光技术的推出,原本一百多家制造光刻机的企业,锐减到三家,除了佳能,尼康,ASML之外,其他所有企业全部惨遭淘汰。

从这也不难看出,一次技术进步,会给全行业带来多么严重的洗牌。

所有人都死了,还活着的三家自然赚的盆满钵满,他们吃着火锅,唱着歌,大把钞票自然就来了,生活简直不要太惬意。

可惜时间又过了几年,随着半导体技术不断推陈出新,深紫外光刻也渐渐变的力不从心。

于是光刻机领域开始了第二轮技术竞赛,而这次技术竞赛的结果,是佳能和尼康出局,荷兰ASML成为最后的赢家。

全球唯一能够制造极紫外EUV光刻机的超级怪兽,就此诞生!

这样的惨烈竞争,简直可怕!

要知道,尼康和佳能绝不是吃素的,他们都是这个世界上最厉害的光学企业。

一说起他们两家,普通人会马上想到数码相机,各种镜头之类的民用产品,但尼康和佳能最强大和最赚钱的并不是民用领域,而是医疗器械。

当你去医院里,花一千来块钱拍个CT的时候,所用的设备,很可能就是佳能或者尼康制造的,要不然就是理光,西门子,日立。

而一台CT设备的售价,高达上千万元,仅仅华夏地区,就有上万套CT设备,全部来自进口,你猜这些年来,霓虹医疗器械巨头,从华夏赚走了多少钱?

再说,你买了一台CT机并不算完,配套软件,设备检修,各种耗材,也是要花钱从霓虹人手里买。

总而言之,佳能和尼康是极其厉害的企业,光学领域扛鼎的存在,却依然惨败给荷兰ASML,足以看出这个行业的门槛不是高,而是高到了天上。

荷兰ASML也不是什么无名小卒,它们的前身是大名鼎鼎的飞利浦光学,他们用的物镜,来自全球镜片领域第一大牛,德国卡尔.蔡司。

可以说,集合整个欧洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了ASML这个怪物。

在过去,ASML是没有对手的,直到星辰科技出现。

罗佳异想天开,决定弯道超车,绕过由紫外光,深紫外光,极紫外光组成的前三代核心技术,直接进入光刻机的第四代,超紫外混合激光,这其中的难度,外行人是永远无法明白的。

唰~

温成岭正思考着,实验室的密封门忽然在他面前打开了。

他笑了笑,在进入实验室之前对罗佳认真的说道:“罗总,我的专业是激光,也自信能够搞定光刻机的光源问题,但您应该也知道,一台光刻机仅仅有光源是不够的,其他数以千计的核心零部件,我可就无能为力了。”

这算是给罗佳打预防针了,他说这话的意思是,我能帮你把超紫外混合激光搞出来,但激光之外的事情,我也是无能为力,还要看星辰科技自己的力量。

罗佳只是点头笑了笑,并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前,罗佳淡淡的说,“这就是我们的初代机,它共分为十三大结构,分别是激光发生器,光束矫正器,能量控制器,光束形状调整器,遮光器,能量探测器,掩膜版,掩膜台,物镜,测量台,曝光台,封闭框架,磁悬浮减震。”

罗佳指着机器,介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单,但就算用脚后跟想也能明白,作为半导体行业的王冠,又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说,如果你以为那是一个类似单反镜头东西,那就完全错了。

ASML公司EUV型光刻机采用的物镜,高达一米八四,宽度接近七十公分,是德国光学巨头卡尔.蔡司集团,与激光巨头亚琛集团联合制造的。

物镜多少钱?

抱歉,无论罗佳掏多少钱,都买不到这套物镜。

从成本的角度估算,这套物镜的成本应该在一千万美元左右,其复杂程度和精确程度,足以被写入光学发展史。

罗佳给温成岭看的,就是这么个东西,它巨大而精密,充满科幻电影般的未来感。

而且ASML的EUV是第三代,罗佳这个是第四代,超紫外光,技术复杂程度还要更高。

“你们...竟然已经做到了这种程度!?”温成岭激动的瞪大眼睛,发出不可思议的声音。

刚才距离远,又隔着玻璃,所以没太看清楚,还以为是个样子货。

如今走进无尘实验室里,温成岭才恍然发觉,这台四代光刻机的完成度,已经如此之高!

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